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: PE/LP CVD化學氣相淀積設備

*對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作等實現自動控制。
*具有完善的報警功能及安全互鎖裝置。
*具有良好的人機界面，靈活的工藝性能。
*具有良好的工藝性能，使用范圍廣泛。

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