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半導體專用設備

我公司與中山市秉一電子科技有限公司簽訂了L4513-2-21/RZQ型擴散爐供貨合同

2014年3月,我公司與中山市秉一電子科技有限公司簽訂了L4513-2-21/RZQ型擴散爐供貨合同。

       該設備采用先進的PLC控制及工控機技術、滿足特殊環境的可靠性設計要求;多層爐管進行集中管理,每層爐管將檢測、控制的各個單元組成離散控制、集中管理、自動檢測的計算機系統,包括對每層爐管的進出推舟、爐體爐溫及氣路控制等部分進行智能化管理,具有生產工藝及流程的控制單元、測試單元、運行監視單元等,配備觸摸屏進行獨立操作,并可存儲、輸出用戶所需要的各種數據。氣源實現氣體流量控制,反饋檢測等功能,對工藝氣體實時檢測保護;氫,氧合成配有單獨專用控制裝置,確保氫,氧合成的安全可靠。設備有著完善的水冷散熱系統、廢氣收集排除系統等。












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